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LCD級磷酸
電子級磷酸
性狀：
無色、無臭、粘稠狀液體，溶于水及乙醇。
用途：
廣泛應用于超大規模集成電路, 薄膜液晶顯示器等微電子工業，主要用于芯片的濕法清洗和濕法蝕刻。
包裝：
330kg 或IBC桶裝, ISO Tank。
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Specifications of Phosphoric Acid Electronic Grade National Standard GB 28159-2011 |
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No. |
Items of Analysis |
Unit |
E1（LCD grade） |
E2 (IC grade) |
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1 |
磷酸 H3PO4 |
% |
85-87 |
85-87 |
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2 |
易氧化物 H3PO3 |
% |
≤0.005 |
≤0.001 |
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3 |
硝酸鹽NO3 |
mg/kg |
≤5 |
≤0.5 |
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4 |
硫酸鹽SO4 |
mg/kg |
≤10 |
≤5 |
|
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5 |
氯化物Cl |
mg/kg |
≤1 |
≤0.5 |
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6 |
鋁 Al |
µg/kg |
≤200 |
≤50 |
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7 |
硼 B |
µg/kg |
----- |
≤50 |
|
|
8 |
銻 Sb |
µg/kg |
≤3000 |
≤300 |
|
|
9 |
砷 As |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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|
10 |
鋇 Ba |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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11 |
鎘 Cd |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
12 |
鈣 Ca |
µg/kg |
≤1000 |
≤50 |
|
|
13 |
鉻 Cr |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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14 |
鈷 Co |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
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15 |
銅 Cu |
µg/kg |
≤50 |
≤20 |
|
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16 |
鎵 Ga |
µg/kg |
≤100 |
≤10 |
|
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17 |
金 Au |
µg/kg |
≤100 |
≤10 |
|
|
18 |
鐵 Fe |
µg/kg |
≤300 |
≤50 |
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|
19 |
鉛 Pb |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
20 |
鋰 Li |
µg/kg |
≤100 |
≤10 |
|
|
21 |
鎂 Mg |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
22 |
錳 Mn |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
23 |
鎳 Ni |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
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24 |
鉀 K |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
25 |
銀 Ag |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
26 |
鈉 Na |
µg/kg |
≤500 |
≤50 |
|
|
27 |
錫 Sn |
µg/kg |
------ |
≤10 |
|
|
28 |
鍶 Sr |
µg/kg |
≤100 |
≤20 |
|
|
29 |
鈦 Ti |
µg/kg |
≤100 |
≤50 |
|
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30 |
鋅 Zn |
µg/kg |
≤100 |
≤50 |
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31 |
顆粒 Granule |
µm,pcs/ml |
----- |
------ |
|
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